スパッタリング
スパッタリングは、環境にやさしくリサイクル性にも優れた薄膜加工を代表する技術。クロム、その他金属など、使用するターゲットによって様々な色調や質感を得ることができます。 当社ではスパッタリング技術の高さはもちろん、さらにスパッタリングを組み合わせた複合膜の形成を独自のノウハウで構築。お客様の用途や要望に合わせた最良のスパッタリング複合膜をご提案することができます。
TEPのスパッタリングが優れている理由
ミクロン単位の1000分の1以下で超薄膜を繊細にコントロールできる当社のスパッタリング。お客様の様々なご要望にスムーズにお応えします。
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当社は品質の確保とともに、合理的な生産体制を追求する高度なシステムを独自で開発。そのため、短時間で大量生産することができます。
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大型設備を導入している当社なら、他社ではできない大きな製品にもスパッタリングが可能です。最大処理サイズはW1000×L1500×Ｈ300（mm）。
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難しいとされているスパッタリング膜を含んだ複合膜が、当社の管理技術で可能に。お客様に最良のスパッタリング複合膜をご提案します。
TEPの主なスパッタリング技術
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クロムターゲットを使用した、現在最もスタンダードな仕様であり、上品で落ち着いた黒めの色調が特長です。耐食性が高く、耐久性に優れています。
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クロムダーゲットを使用し、ブライトクロームよりもさらに深みを増したブラックが特長です。耐食性が高く、耐久性にも優れています。
当社では、量産性に富んだインライン式スパッタリング設備に加え、研究性に優れ、様々な仕様に対応できるバッチ式スパッタリング装置を用意しています。それによりお客様の様々なご要望に対し、最良のスパッタリング複合膜の提案でお応えすることがきます。
